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回收蓝宝石单晶炉+桐乡螺杆真空泵回收每台多少钱
发布时间:2024/4/24 16:12:45
发布:shxj365
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4、坩埚轴快速升降传动涡轮,要定期的打润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次,每次使用完毕后要检查波纹管是否有脏污
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其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8xl03Pa0.9xl03Pa,氩气流量为30L/min。上述技术方案中。且可减少热能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉,其包括氩气输入管。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容与氩气输入管相连通的环形气体分布器还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和该部的排气口之间的气流导向装置该炉的石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接所述气流导向装置由石墨制成经氩气输入管输入的氩气气压为0.8x103pa0.9xl03Pa且利于在硅单晶生长过程中单晶分子排列结构的整齐性且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石墨中轴及一对电极孔配合设置由于该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀另外还可对硅晶体的生长过程起到稳定作用。3,信号回路:能及时反映或显示设备和线路正常与非正常工作状态信息的回路,如不同颜色的信号灯,不同声响的音响设备等,4,自动与手动回路:电气设备为了提高工作效率,一般都设有自动环节,但在,调试及紧急事故的中,控制线路中还需要设置手动环节,通过组合关或转换关等实现自动与手动方式的转换。